Elektr maydoni ostida yuqori tezlikda harakatlanuvchi elektronlar jismning sirtini bombardimon qiladi va uni qizdiradi. Elektron nurli isitish uchun asosiy komponent elektron tabanca sifatida ham tanilgan elektron nur generatoridir. Elektron qurol asosan katod, nurli elektrod, anod, elektromagnit linzalar va burilish bobinidan iborat. Anod erga ulangan, katod salbiy yuqori pozitsiyaga ulangan, fokuslash nuri odatda katod bilan bir xil potentsialda bo'ladi va katod va anod o'rtasida tezlashtirilgan elektr maydoni hosil bo'ladi. Katod tomonidan chiqarilgan elektronlar tezlashtiruvchi elektr maydoni ta'sirida juda yuqori tezlikka tezlashtiriladi, elektromagnit linzalar tomonidan fokuslanadi, so'ngra elektron nurning ma'lum bir yo'nalishda qizdirilgan ob'ektga otishini ta'minlash uchun burilish bobini orqali boshqariladi.
Elektron nurli isitishning afzalliklari quyidagilardan iborat: (1) isitish quvvatini osongina va tez o'zgartirishi mumkin bo'lgan elektron nur Ie ning joriy qiymatini nazorat qilish; (2) Elektromagnit linzalar isitiladigan qismni erkin o'zgartirish uchun ishlatilishi mumkin yoki elektron nurli bombardimon qismining maydoni erkin sozlanishi; (3) Quvvat zichligi oshirilishi mumkin, shunda bomba bombardimon qilingan nuqtadagi material bir zumda bug'lanadi.
